什么是維氏硬度計(jì)
維氏硬度計(jì)是以金剛石壓入試樣后,用所得壓痕對(duì)角線的長(zhǎng)度值(單位一般為微米)進(jìn)行計(jì)算而求得硬度值的。金剛石壓頭的形狀是一四方角錐體,錐面夾角為1360,它的壓痕是一個(gè)壓下去的四方角錐體。對(duì)于薄膜來(lái)說(shuō),過深的壓痕其形變的影響范圍有可能達(dá)到基片,這時(shí)測(cè)得硬度就不準(zhǔn)確了。因此為了能準(zhǔn)確測(cè)量薄膜的硬度,基片厚度至少應(yīng)是壓痕深度的10倍以上,也就是載荷重量應(yīng)盡可能地小。