薄膜在基片表面上的附著，是范德華力、擴(kuò)散附著、機(jī)械鎖合、靜電引力等多種因素綜合作用的結(jié)果。如薄膜材料與基片形成化合物，化學(xué)鍵力成為主要的附著作用力。薄膜的附著力可分為簡(jiǎn)單附著、擴(kuò)散附著、通過(guò)中間層附著和宏觀(guān)效應(yīng)附著等四種類(lèi)型。